美國ALICAT 22系列雙向型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差專利技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進行修正。22系列雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥，正向或反向jing確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設(shè)計模式，一臺閥門專門用于控制進氣、另一臺用于排氣，實現(xiàn)了僅用一臺設(shè)備便可同時控制開放式或密閉容器內(nèi)上游、下游端流量，以及正壓、背壓。

產(chǎn)品特點 ：

● 數(shù)字化產(chǎn)品，雙向流量控制

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板

● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%

● 高量程比 200:1

● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（zui多5種成分），并存儲20種混合氣

技術(shù)參數(shù) ：

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載”氣體兼容表

一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM

量程比：200:1

zui大顯示流量：-100%FS～100%FS

顯示屏：帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程

高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

重復(fù)性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / oC / Atm

響應(yīng)時間：100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時間：