小型蒸鍍儀

KT-Z1650DM是一款小型臺(tái)式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

控溫方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤800W

最大輸出電壓電流

電壓≤10V 電流≤80A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa

擋板類型

電控

樣品室

石英腔體φ160mm x 160mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品熱源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

≤1600℃

蒸發(fā)坩堝容積

3ML

真空法蘭

KF25抽氣口 KF25擴(kuò)展口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

1 膜厚在線測試 2 分子泵

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聯(lián)系人：李工