特點
• 分辨率/重復(fù)精度為0.1μm/0.4μm 時,精
度可高達(dá)(1.1 0.6L/600) μm。
• 確保垂直度(前部) 達(dá)5μm,直線度達(dá)4μm。
• 全/半空氣浮動系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊高度。
• 帶有基本統(tǒng)計功能, 另外,通過RS-232C
數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC 軟件的電腦相連,
可實現(xiàn)外部測量數(shù)據(jù)評估。
• 半自動測量時具有單鍵操作功能。
• 通過Digimatic 工具實現(xiàn)數(shù)據(jù)輸入。
• 為方便用戶操作,可選擇多種信息語言包
括英語、德語、法語、西班牙語、意大
利語、荷蘭語、葡萄牙語、瑞典語、捷
克語、匈牙利語、斯諾文尼亞語、波蘭語、
土耳其語、繁體中文*、朝鮮語** 和日語。
* 可選 ** 僅限518-341K 和518-342K 型