電子槍鍍膜設(shè)備配置有扇形多片夾具或拱形單工件盤(pán),可鍍制層數(shù)較多的短波通、長(zhǎng)波通、減反射膜、濾光片等應(yīng)用于光學(xué)鏡頭或光學(xué)儀器上的視窗玻璃或分光元件,利用人機(jī)界面觸摸屏 PLC與全自動(dòng)晶振膜厚儀構(gòu)成全自動(dòng)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)參數(shù)錄入、過(guò)程監(jiān)控及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等功能,可設(shè)定工藝流程并自動(dòng)執(zhí)行,使鍍膜膜層重復(fù)性、光學(xué)性能穩(wěn)定性有質(zhì)的提高,解決了人工手動(dòng)操作復(fù)雜性、膜層顏色、光學(xué)性能不一致等問(wèn)題。
應(yīng)用:特別適用于光學(xué)鏡頭、電子產(chǎn)品、亞克力、玻璃、燈具、手機(jī)視窗、眼鏡、舞臺(tái)燈光等,可鍍制增透膜、濾光片、幻彩、紅五彩、紅、黃、綠、藍(lán)等七彩顏色。全自動(dòng)光學(xué)電子槍鍍膜設(shè)備參數(shù)說(shuō)明
設(shè)備型號(hào)
GXW-1600A
GX-900A
GX-1100A
GX-1200A
GX-13500A
真空室尺寸
800×900
1050×1200
1100×1200
1200×1450
1350×1500
制膜種類
光學(xué)增透膜、減反射膜(AR)、寬帶增透、單點(diǎn)增透、截止濾光片、七彩裝飾功能膜等。
工件夾具
拱型四片裝夾、拱型單工件盤(pán)公轉(zhuǎn)、三工件盤(pán)行星公自轉(zhuǎn)、12軸公自轉(zhuǎn)(臥式)
真空室結(jié)構(gòu)
立式前開(kāi)門(mén)、臥式前開(kāi)門(mén)(304不繡鋼)、后置真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)
滑閥泵(旋片泵)+羅茨泵+擴(kuò)散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷泵、深冷系統(tǒng))
加熱系統(tǒng)
發(fā)熱管上加熱方式,PID控制,溫度350度
工作氣體系統(tǒng)
質(zhì)量流量控制儀+電磁閥
電子槍
電子槍四圓形坩堝加一個(gè)U形坩堝,高壓4KV-8KV可調(diào),可自由選擇三角波、正弦波、方波掃描電動(dòng)定位。
電阻蒸發(fā)源
2組電阻蒸發(fā)源
離子源
功率2KW,陽(yáng)極電流6A。雙燈絲(自動(dòng)切換)提高附著力、膜層密度、穩(wěn)定折射率。(霍爾源)
晶振膜厚儀
由美國(guó)產(chǎn)晶振膜厚儀SQC-310與PLC構(gòu)成全自動(dòng)控制抽真空及電子束自動(dòng)蒸發(fā)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)設(shè)備的全自動(dòng)控制
極限真空
8×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時(shí)間
空載大氣抽至5×10-3pa小于15分鐘
控制方式
手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化/觸摸屏+PLC
備注
真空室尺寸可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
振華真空擁有一支完善、精干的售后服務(wù)隊(duì)伍,可在機(jī)械出現(xiàn)故障的時(shí)間電話溝通教客戶怎樣排除故障;廣東省內(nèi)可在24小時(shí)內(nèi)到達(dá)客戶工廠進(jìn)行檢修工作,省外可在48小時(shí)內(nèi)到達(dá)。
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